江苏平面度激光干涉仪 苏州千宇光学科技供应

激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要需要用到尺子，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是10μm、1μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差，***次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象，这就是光学干涉仪的诞生，江苏平面度激光干涉仪。注[1]:根据古代和中世纪科学，以太被称为*五元素，是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象，例如光和重力的传播。19世纪末，物理学家假设以太渗透到整个空间，以太是光在真空中传播的介质，但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据，江苏平面度激光干涉仪，这个结果被解释为没有光以太存在，江苏平面度激光干涉仪。1961年研究人员发明了氦氖激光器，开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源，从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。***在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊，但性能远远胜于迈克尔逊。应用领域：光学加工（窗口玻璃检测）。江苏平面度激光干涉仪

单频激光干涉仪的工作原理：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路：一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。 江苏表面面形测量激光干涉仪方案激光干涉仪测试原理：斐索干涉原理。

单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自从发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。

把一束激光用分光镜分成两路，这两路光是频率相同的，调整两路光的行程差（只是激光波长的一半，很微小），使得这两路光有相位差；它们平行叠加时就产生干涉现象。我们把这种激光设想为正弦波，如下图，当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时，振幅有的地方变强了（这对应着光的强度变大了，亮些），有的地方变弱了（这对应着光的强度减弱了，暗些）；所以，2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”；只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹，就可以知道此激光的“波长”是多少，从而知道它的“频率”是多少了。应用领域：计量领域（平面平晶检测）。

国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来，国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大，特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光，原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产，以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的**技术，走在了世界前端，也解决了国内无源的重大难题。业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来，业界认为单频干涉仪没有非线性误差。事实上，德国联邦物理技术研究院(PTB)经严格测试发现，单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差，甚至大于10nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差，也是无法消除的。非线性误差发生在半个波长的位移内，即使量程很小也照样存在。对此干涉仪测量的误差，大多使用者是不知情的。应用领域：计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），手机工业背板检测。江苏表面面形测量激光干涉仪方案

通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。江苏平面度激光干涉仪

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，**初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在较接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式江苏平面度激光干涉仪